真空環境已經除去了所有的空氣和氣體。通常，它包含在腔室中并通過泵完成。如果你在抽真空時進入一個房間，就必須穿著一套提供氧氣呼吸的套裝，就像太空中的宇航員一樣（太空是一個巨大的真空）。某些應用程序在真空中完成的原因是它是最干凈的環境。當所有空氣，氣體和顆粒被抽出真空室時，它就變得無污染。這對于需要絕對清潔的應用至關重要，例如半導體制造。

消除空氣和氣體是無污染良好的開端，但在完成應用時，真空室不會沒有元件。因此，應確保腔室內的任何物質都不會造成污染。這在構建腔室中使用的儀器的組件時開始，包括模組機械。模組機械產品可按真空規格制造。盡管由于一般的磨損，移動部件最終可能會隨著時間的推移而顆粒化，但如果考慮到顆粒形成的位置和制造時的多少，模組機械仍然可以在真空中使用。此外，如果按照建議進行適當的預防性維護，污染的可能性將會降低。